炬光科技：公司的光場勻化器產(chǎn)品應(yīng)用于國內(nèi)主要光刻機研發(fā)項目和樣機中

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司目前光刻機零部件供應(yīng)情況如何，是否與上海微電子有合作？

炬光科技（688167.SH）3月22日在投資者互動平臺表示，公司多年來一直為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件——光場勻化器，供應(yīng)給世界頂級光學(xué)企業(yè)A公司，最終應(yīng)用于全球高端光刻機生產(chǎn)商的核心設(shè)備；同時，公司與國內(nèi)在這一領(lǐng)域的研發(fā)單位有廣泛合作，公司的光場勻化器產(chǎn)品應(yīng)用于國內(nèi)主要光刻機研發(fā)項目和樣機中。公司在招股書“與半導(dǎo)體光刻產(chǎn)業(yè)的融合情況”中原文“公司是A公司重要供應(yīng)商。同時也為中國科學(xué)院、上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司、美國科磊半導(dǎo)體等行業(yè)知名半導(dǎo)體集成電路設(shè)備科研和生產(chǎn)機構(gòu)提供相關(guān)產(chǎn)品。”

(記者 姚祥云)

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