南大光電：公司ArF光刻膠所需的關(guān)鍵配套材料均為自主研發(fā)生產(chǎn)，主要檢測(cè)設(shè)備如光刻機(jī)也已正常投入使用

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：您好，ARF光刻膠是中高級(jí)芯片制程用量最大的光刻膠，目前國(guó)內(nèi)只有i線(xiàn)g線(xiàn)光刻膠實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)，KRF實(shí)現(xiàn)很少量生產(chǎn)，而ARF光刻膠基本需要進(jìn)口。目前國(guó)內(nèi)南大光電實(shí)現(xiàn)了ARF光刻膠產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)和送檢適配，并獲得少量訂單，是最可能最早量產(chǎn)的企業(yè)。但公司實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)似乎仍要假以時(shí)日，據(jù)說(shuō)光刻膠量產(chǎn)需要高質(zhì)量的樹(shù)脂、高精度的檢驗(yàn)設(shè)備和DUV光刻機(jī)，請(qǐng)問(wèn)公司當(dāng)前量產(chǎn)主要困難在哪個(gè)環(huán)節(jié)？

南大光電（300346.SZ）11月11日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司ArF光刻膠所需的關(guān)鍵配套材料均為自主研發(fā)生產(chǎn)，主要檢測(cè)設(shè)備如光刻機(jī)也已正常投入使用。 目前ArF光刻膠仍在驗(yàn)證中，需要根據(jù)驗(yàn)證進(jìn)度和客戶(hù)訂單情況確定規(guī)模量產(chǎn)時(shí)間。

(記者 陳鵬程)

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